理事長

　山　幹　雄

シャープ株式会社

　　副理事長

田　井　一　郎

株式会社東芝

　　専務理事

稲　垣　謙　三

常勤

　　理事

佐　相　秀　幸

富士通株式会社

小豆畑　　　茂

株式会社日立製作所

國　尾　武　光

日本電気株式会社

高　須　秀　視

ローム株式会社

鷲　野　憲　治

東京エレクトロン株式会社

森　戸　辰　臣

常勤

　　監事

長谷川　英　一

一般社団法人電子情報技術産業協会

常　松　政　養

社団法人日本半導体製造装置協会

平成23年8月9日現在